产品资料

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【名称】广东,KONSEI近藤,单晶圆型爪手
【产品型号】WHF-200AS
【产品价格】0.00
【品牌】KONSEI近藤
广东,KONSEI近藤,单晶圆型爪手 WHF-200AS KONSEI近藤

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广东,KONSEI近藤,单晶圆型爪手
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日机自动化设备(深圳)有限公司

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お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接触しません。

■固定搬送 
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ウエハ表裏に対して非接触 
エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■クリーン度クラス1対応 
■WHF シリーズ
サイドアームとメインフォークの両側(同期)駆動式エッジクランプ
クリーン梱包はしておりません。 

仕様

型式 WHF-200AS WHF-300AS
搬送ワーク ウエハ
ワークサイズ φ200 φ300
搬送方式 エッジクランプ
搬送枚数 1枚
駆動方式 閉方向 スプリング(クランプ方式)
開方向 バーキューム圧-60KPa ~95KPa (負圧シリンダ採用)
動作ストローク 10 ㎜ (クランプ7㎜ クランプシロ3㎜)
把持力 2.4N ~1.9N
クリーン度 FED 規格 クラス1 (吸引要)
フォーク材質 CFRP
駒・仮受け座・パット PEEK
本体重量 約1.2Kg 約1.7Kg
オプション 開閉確認センサー


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