DIC SEPAREL 中空丝膜模块 典型应用案例

案例 1：半导体晶圆湿法清洗产线

方案：SEPAREL 水用脱气模块 + eFLOW 超纯水调阻模块 痛点：超纯水内溶解氧、CO₂会造成晶圆氧化、表面静电，颗粒二次附着，影响良率；光刻显影液、蚀刻药液内部气泡造成涂布不均。 应用：超纯水在线深度脱气，将溶氧降至 ppb 级别；eFLOW 模块定量向超纯水溶入 CO₂，精准调节电阻率，消除静电；PTFE 材质 PF-F 系列模块用于酸碱、有机溶剂类光刻药液脱气。 效果：减少晶圆表面缺陷，稳定湿法清洗、光刻、显影工序。

案例 2：工业喷墨打印设备（PCB/FPD 显示喷墨）

方案：EF 系列小型中空丝脱气模组（PF-001D） 痛点：墨水内溶解气体产生微小气泡，打印时断墨、飞墨、色差，影响线路与面板图案精度。 应用：模组小型化、低压损，直接集成在喷墨设备墨路内部，对水性墨水、UV 墨水在线脱气；SS 膜版本可处理含表面活性剂的墨水，避免膜被浸润漏液。 效果：持续稳定供墨，大幅降低打印率。

案例 3：生化体外诊断、分析仪器流体回路

方案：微型 EF-MICRO 中空丝膜模块 痛点：试剂管路内气泡干扰微量液体计量，检测数据重复性差。 应用：对生化试剂、缓冲液在线脱气，去除溶解气体；体积小巧，可嵌入分析仪内部流路。 效果：保证微量流体输送稳定，提升检测结果精度。

案例 4：精细化工强腐蚀溶剂脱气

方案：PF-F 系列 PTFE 中空丝膜模块 痛点：普通膜不耐酸碱、有机溶剂，易腐蚀破损，无法对强化学药液脱泡。 应用：全部接液部件采用氟树脂，用于光刻溶剂、各类酸碱化学品的连续脱气。 效果：耐化学腐蚀，长期在线稳定运行，无液体渗漏风险。

案例 5：超大型纯水净化项目（超级神冈探测器净水系统）

方案：SEPAREL 大型中空丝脱气模组 痛点：超大容积水体中溶解氧会加速容器锈蚀，干扰粒子探测实验。 应用：超纯水系统持续在线脱气，降低水体溶解氧。 效果：满足大型科研装置长期稳定纯水运行要求，是 DIC 标志性大型项目案例DIC Corpor...。

案例 6：工业锅炉 / 精密清洗功能水制备

方案：SEPAREL 供水脱气两用模块 痛点：锅炉给水含氧造成管路锈蚀；超声波清洗用水内气泡削弱清洗效果。 应用：锅炉给水脱氧防腐蚀；同时可反向将 CO₂、H₂、N₂溶入水中，制备功能清洗水。 效果：延长管道寿命，提升精密超声波清洗效果。

案例 7：气体分离制氮 / 富氧装置

方案：SS 膜中空纤维气体分离模块 痛点：需要低成本、小型化氧氮分离。 应用：利用膜对氧气、氮气渗透速率差异，实现气体分离，制取富氧或氮气。 效果：模块化，无转动部件，维护简单。