DIC SEPAREL 中空丝膜模块 应用场景

1. 半导体湿法工艺（核心场景） 超纯水在线脱气，去除水中溶解氧、二氧化碳，降低晶圆氧化、表面缺陷；搭配 eFLOW 模块向超纯水定量溶入 CO₂，调节电阻率，抑制静电，用于晶圆清洗、光刻、显影等工序；PTFE 膜型号用于酸碱、有机溶剂等化学药液脱气。
2. 喷墨印刷行业 喷墨墨水脱气，消除墨水中气泡，防止打印断墨、飞墨、色差；小型化模块可直接集成在工业喷墨设备、数码打印头内部。
3. 精细化工与流体处理 含表面活性剂料液脱气（SS 膜专用）；各类有机溶剂、酸碱化学品脱气，减少气泡对计量、输送、反应精度的干扰。
4. 医疗、生物分析设备 医疗流体、生化试剂脱气，保障检测仪器流量稳定，提升检测数据重复性，适配体外诊断、分析仪器。
5. 气体分离领域 氧氮分离，利用中空纤维膜的气体渗透特性，实现氧气富集或氮气分离，用于各类工艺供气。
6. 电子设备、功能性材料制程 功能性材料制备、电子元器件生产中的供水 / 供液系统脱气，提升产品良率。

 DIC SEPAREL 中空丝膜模块广泛应用于半导体湿法制程、工业喷墨打印、精细化工药液处理、医疗生化分析、氧氮气体分离等领域，实现液体深度脱气、气体定量溶入与气体分离，保障流体工艺稳定运行。