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【名称】NKS长野计器半导体产业用GW压力表
【产品型号】 12 GW16-173-193 -1K3 A
【产品价格】0.00
【品牌】NKS长野计器
NKS长野计器半导体产业用GW压力表 12 GW16-173-193 -1K3 A NKS长野计器

NKS长野计器半导体产业用GW压力表
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半导体产业用压力表(Cat.No. C03-01-N GWGW)
一、产品概况
专为半导体高纯度气体、腐蚀性气体工况设计,兼顾气密性与洁净度,适配高纯度流体场景。

二、核心特点

1. **材质耐腐**:波登管、接头、表壳、机芯等主部件均为不锈钢;GW2□系列接气部件采用SUS316L,常规款为SUS316,表壳为SUS304。
2. **工艺严苛**:接气部位采用氩弧焊,经耐压、气密性检测,全流程品质管控。
3. **洁净分级**:分A、B两个等级,对应不同清洗、组装、检漏、封装流程,A等级在万级洁净室生产;GW2□可定制接气面特殊镜面加工。
4. **合规标准**:符合RoHS要求,参考标准JIS B 7505-1。
三、选型要求
1. **压力量程**:恒压工况选用量程*大值**3/4及以下**;波动压力选用量程*大值**2/3及以下**。

2. **材质匹配**:务必确认接气部件材质适配被测流体。

四、规格参数

1. **规格尺寸**:φ50、φ60两种规格,对应多款型号;连接螺纹含R1/4、9/16-18UNF等多种类型。
2. **压力范围**:常规0~0.2MPa至0~100MPa、-0.1~0.1MPa至-0.1~2MPa;A级上限≤25MPa,35MPa以上仅φ60规格。
3. **性能指标**:精度±1.5%F.S.,气密性达$1.01×10^{-9}\ \mathrm{Pa·m^3/s}$(氦真空法检测)。
4. **使用条件**:温度-5~45℃;重量φ50约100g、φ60约200g;有立式、嵌入式两种安装形态。
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