晶圆、FPD的切实应对大口径化
通过组合可化大排气量。满足15万L/min以上的要求 高速排气 缩短节拍时间，为了确保大气侧排气速度，大型负载锁定器快速排气推杆，缩短时间
也有溶剂排气规格，请咨询
*1.N2**未使用时的值。 *关于海外规格的对应请咨询。另外，关于规格及型号名称可能会在没有预告的情况下变更。 *根据泵的结构，其他型号也有可能对应。详情请咨询本公司营业
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