樫山工业（KASHIYAMA）工业自1946年创建以来,持续不断拓展业务以应时代的需求,是秉着用户至上的信念走过来的。特别是在真空泵领域上,樫山工业坚持不懈地研究,不断地创造出先进的高科技产品。樫山工业提供的真空泵及真空设备被应用在广泛的高科技领域当中,其中包括半导体制造业和液晶显示制造行业。 樫山工业的产品在半导体制造领域和先进的高科技行业中已经荣获了极高的评价与信赖。尤其是来自于半导体制造行业的信赖,这是樫山工业多年长期以来不断开发进取真空技术的结果。 樫山工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并在极高难度的制程发挥上获得了客户的高度信赖与评价。
Kashiyama干式真空泵SD系列SDT600
モデル*1 SDX600 SDT600 SDX1200 SDT1200 SDX1800 SDT1800 SDH3000*5 SDH6000*5 *大排気速度 [L/min]*2 10,000 18,000 19,000 30,000 50,000 100,000 到達圧力 [Pa] *2 0.5 0.3 0.5 N2流量[SLM] 0～80 0～120 冷却水流量 [L/min] 3.0 4.0 3.0 4.0 3.0 4.0 4.0 4.0 消費電力[kW]*3 1.5 3.0 1.65 3.15 2.1 3.3 3.3 3.7 外観寸法 [mm]*4 L 695 695 850 910 1050 W 285 285 380 420 515 H 850 850 950 900 950
*1）SDX节能·哈什工艺对应机、SDT·SDH耐工艺性·超级哈什对应机 *2）N2**未使用时的值。*3）到达运行时的耗电概略值。*4）包装尺寸。详细尺寸请索取外观图。 *5）因为备齐了更加的流程耐性出色的阵容请咨询营业担当。 关于规格及型号名称可能会在没有预告的情况下变更。※关于对应气体种类请咨询。
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