NKS长野计器半导体行业兼容ZT17_200°C高温压力传感器

特长

200°C的高温测量搭载新开发的压敏传感器元件，支持200°C测量。

实现高精度高温测量

温度特性

零点误差:士1.0%满量程，量程:土3.0%满量程，(温度补偿范围15~200°C)，将测量气体滞留降至*低，

适用于气体供给系统的焊接结构及特殊表面处理技术

使用温度范围

应用领域

鼓风机

气缸柜

蚀刻装置

高纯度气体·半导体材料气体(含有毒气体)

成膜装置

洗净装置

离子注入装置气体供应:压力计·压力传感器调整弁切换阀阀门手动控制箱

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