PMT隔膜超精密气压盘
5WZ8-3:外形尺寸A为126、B为101.6、E为58、I为60、J为44,PCD两处分别为114.3和52,安装孔为8-M5,*高转速8000转/分钟,夹持范围3.0毫米至70.0毫米,重复精度小于0.4微米,重量3.8。
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