在半导体晶圆设备、精密机床、光学平台安装调试现场,很多调试工程师都会遇到难题:传统气泡水平仪读数因人而异,狭小腔体内部难以观测,单人双轴同步调平耗时长,不同操作员调试标准不一致,直接影响设备精度与产品良率。不少精密设备厂商选用SEM 坂本 SELN-001B 有线二轴精密数字水平仪后,现场调平效率与测量一致性得到明显改善。
从一线调试人员实际使用反馈来看,SELN-001B 分体有线设计是*大亮点。传感器探头小巧轻薄仅 70g,φ50×H19mm 微型探头,可以放进垂直间隙狭窄的腔体、晶圆处理区等敏感狭小空间;传感器与 4.3 英寸触控显示单元由 2 米线缆分离连接,探头放置在被测设备内部,人员可在外部远端查看读数,不用挤在设备狭小区域作业,规避磕碰精密元器件风险。
仪器屏幕模拟传统气泡水准的可视化气泡界面,老工程师沿用气泡水平仪的操作习惯即可上手,学习门槛低;同时搭配数字化数值实时输出,消除人工目视读数误差,统一全厂调平判定标准。X/Y 双轴可同时实时监测,同步调节两个轴向,大幅压缩设备调平工时。 测量精度高达±0.001°(17.5μ/m),测量分辨率 0.0002°,零点重复性优于 ±0.001°,响应速度<50ms,角度范围 ±0.3°,支持 0.01/0.001/0.0001 多档位量程切换。支持自定义合格角度阈值,设置好通过范围后,新手调试人员也可以快速完成合格调平,降低对**技师的依赖。
整机适配 - 10℃~+50℃工况,供电方式灵活,可使用专用 DC6V/2A 适配器或者 4 节 AA 电池,满足实验室、无尘车间、设备现场调试多种供电场景。监视器主机尺寸 W96×D35×H145mm,重量 392g,便携易携带。
典型客户应用场景
半导体行业:晶圆承载台、光刻机、刻蚀机、镀膜真空腔体调平,保护精密晶圆制程,提升良率;
精密加工:CNC 加工中心、磨床、三坐标工作台基准校准;
光学领域:光学平台、干涉仪、激光检测设备光路调平;
自动化设备:精密伺服平台、非标设备机架倾角校正。
深圳纳加霍里科技原装进口日本工业测量仪器,供应 SEM 坂本全系列数字水平仪、倾斜仪,可提供原厂规格书、技术资料,支持样品测试验证。针对无尘车间、半导体设备项目提供技术对接。欢迎咨询获取详细参数与报价。
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