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长野计器NAGANO KEIKI半导体压力测量仪表,守护气体供应系统稳定运行!

长野计器NAGANO KEIKI半导体压力测量仪表,守护气体供应系统稳定运行

深圳纳加霍里科技供应日本长野计器压力表、压力传感器、数字压力表全系列产品,依托先进压力测量技术,为半导体气体供应系统提供高精度、高可靠的压力监测方案。


半导体生产中,高纯工艺气体、腐蚀性特种气体的压力稳定直接决定刻蚀、沉积等核心制程良率。气体管路压力波动、介质析出、泄漏风险,都会造成薄膜不均匀、晶圆报废,对压力监测仪表提出严苛的洁净、耐腐蚀、高气密要求。

长野计器压力测量产品线覆盖压力表、压力传感器、数字压力表,同时配套压力开关、温度仪表,一站式满足半导体气体系统压力、温度监测与联锁控制需求。产品接液部分采用超洁净处理,无油无析出,适配高纯气体、腐蚀性特气工况,气密性优异,有效避免管路污染,保障气体纯度。


产品优势: 

超洁净设计,低金属离子析出,适配半导体高纯气体、腐蚀特气 

品类齐全:指针压力表、数字压力表、压力变送器、压力开关、温度表,满足现场显示 + 远程采集 + 报警联锁 

测量精度高,长期稳定性强,可用于钢瓶柜、阀组箱、气体输送管路 

支持 VCR 等半导体常用接口,适配特气系统集成安装 

日本原厂品质,深圳纳加霍里科技现货供应,配套选型与技术支持

应用场景:半导体特气柜、BSGS 大宗气体供给、工艺气体输送管线、气体调压模块、洁净车间气体压力监测。

深圳纳加霍里科技作为长野计器授权代理商,可提供全套压力测量仪表选型、原厂供货、技术咨询,为半导体气体供应系统提供完整压力监测解决方案。

粤公网安备44030602001861号