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NAGANO KEIKI IO-Link微差压测量!半导体厂房空调数字差压表

长野计器 NAGANO KEIKI(NKS)半导体制造工艺压力测量设备空调系统压力测量场

在半导体制造厂房中,洁净空调系统是保障晶圆制程稳定的基础,洁净室房间压差、HEPA 过滤器压差需要长期高精度持续监测,微小压差波动就可能影响良率。

长野计器 NAGANO KEIKI本次推出的系列,是行业率先实现 IO-Link 接口微差压测量的产品,紧跟洁净空调智能化升级趋势。 产品具备高 ±0.5% FS 测量精度,±0.2% FS 优异重复性,在几十 Pa 的微压差工况下读数稳定,减少误报警。 依托 IO-Link 数字通信,告别传统 4-20mA 模拟信号的线路衰减误差,测量数值直接数字化上传 PLC。可远程读取测量数据、修改参数、诊断设备状态,简化现场调试与后期运维。

适配半导体洁净厂房 24 小时不间断运行场景,用于洁净室维持压差、HEPA 滤网堵塞监测、风道压差检测,长期漂移小,降低现场定期校准频次,助力工厂实现自动化、智能化的设备管理。纳加霍里科技原装进口长野计器 NAGANO KEIKI全系列压力表,压力计,压力开关,提供选型、技术支持与售后维护服务。

长野计器 NAGANO KEIKI行业首款搭载 IO-Link 的数字微差压表,*高 ±0.5% FS 高精度,数字传输消除线路损耗,稳定监测洁净室与 HEPA 过滤器压差,支持远程参数读写与设备诊断,适配半导体厂房洁净空调智能化升级。

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