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日本NKS长野计器半导体压力测量设备 高纯气体药液超纯水专用压力表传感器


日本NKS长野计器半导体压力测量设备 高纯气体药液超纯水专用压力表传感器

一、产品简介

半导体制造工艺对压力监测的洁净度、稳定性、耐腐蚀性、测量精度有着严苛标准，高纯气体供给、超纯水循环、化学药液湿法制程等核心工序，极易因介质腐蚀、杂质析出、压力检测漂移，造成产品良率下降、设备故障、生产停机等问题。普通压力仪表精度不足、易污染、不耐腐蚀，完全无法适配半导体精密工况。

长野计器NAGANO半导体专用压力测量设备，依托百年压力测量技术积淀，针对半导体行业气路供给、湿法工艺两大核心场景专项研发。设备采用专属焊接工艺与特殊表面处理，搭配全氟树脂防腐结构，无介质析出、不污染制程、抗腐蚀抗老化，可长期稳定用于高纯气体、酸碱药液、超纯水精密压力检测，是半导体晶圆、光刻、蚀刻、湿法制程的标配高精度压力监测设备。

二、核心产品优势（行业差异化卖点）

1、半导体级高洁净工艺，零污染制程
设备气路接触端采用精密焊接结构与特殊表面处理技术，杜绝微粒析出、气体污染，完全满足半导体无尘、高纯生产标准，适配高纯惰性气体、特种工艺气体压力监测，保障制程环境洁净稳定。
2、全氟树脂防腐结构，适配湿法严苛工况
液体接触部位采用全氟树脂材质，耐酸碱、耐腐蚀、抗渗透，可长期适配各类化学药液、超纯水循环压力测量，不会被介质侵蚀损坏，有效解决普通仪表易腐蚀、易渗漏、寿命短的行业痛点。
3、多等级精度匹配，测量稳定无漂移
针对气体、液体不同介质细分多规格精度等级，BA、EP、UC、GP多等级可选，专属匹配不同工艺介质，压力响应灵敏、长期运行无漂移，保障半导体制程压力参数精准可控。
4、结构专项优化，适配连续量产工况
搭载PFA波纹管连杆结构、多层氟树脂隔膜、一体化连杆组合结构，结构稳固、抗冲击性强，可24小时连续稳定作业，适配半导体工厂高频量产、不间断生产需求。
5、防爆合规+多功能适配，**性拉满
全系涵盖本安防爆、高温测量、接点控制、数字数显、可拆卸式机型，适配防爆车间、高温气路、集成化气路系统等特殊场景，完全符合半导体精密车间**规范。

三、细分工况技术配置

1、半导体气体压力测量工况

针对半导体各类工艺气体、高纯供气系统，匹配多精度等级设备，适配不同气体介质测量需求，广泛用于气路稳压、压力监测、过载预警、气路集成控制系统。
压力表精度等级：BA级、EP级
压力传感器精度等级：UC级、BA级、EP级、GP级

2、半导体湿法工艺测量工况

针对超纯水、酸碱药液、湿法清洗、药液输送等高腐蚀高洁净场景，三款专属结构覆盖全湿法工况：
SL85：PFA波纹管+连杆组合结构，耐腐蚀、稳定性强，适配常规湿法工艺压力监测；
KL91：多层氟树脂叠层隔膜，抗药液腐蚀，高精度稳定测量；
KL92/KL95：氟树脂隔膜与感压隔膜一体化连杆设计，结构牢固、响应迅速，长期连续测量无误差漂移。

四、全系热销型号清单

1、气体供给系统设备

GW压力表、JB50带接点压力表、EJ95本安防爆压力传感器、ZT11通用压力传感器、ZT17高温压力传感器、ZT67小型数字压力表

2、气体供给集成化设备

GW28集成式压力表、ZT16压力变送器、ZT61数字压力表、ZT67可拆卸式数字压力表

3、湿法工艺专用设备（药液/超纯水）

SL85高耐腐蚀压力表、KL91高精度压力变送器、KL92药液专用压力变送器、KL95耐腐蚀压力变送器

五、广泛应用场景

主要用于半导体晶圆制造、光刻工艺、蚀刻制程、薄膜沉积、湿法清洗、高纯气体供给、超纯水系统、化学药液输送等精密工序，同时适配精密电子、光电面板、**化工、洁净实验室等高洁净、高防腐、高精度压力监测场景。

六、供货与服务

深圳纳加霍里科技原装供应长野计器NAGANO半导体全系列压力测量设备，全系型号现货充足，可提供参数核对、CAD图纸、批量供货一站式服务，支持特殊工况定制适配，满足各类半导体精密制程压力监测需求。


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